酸性镀铜工艺操作之吹气与过滤
2012/8/13 14:39:02|
分类:
电镀铜资料
酸性镀铜工艺操作之吹气与过滤
酸性铜之操作必须吹气,其功用系在协助槽液的搅拌以达浓度之均匀,减少亚铜离子(Cu+)的发生,辅助添加剂的发挥作用,以及帮忙赶走板面或孔口氢气之不良聚集等。
吹气宜采清洁干燥的鼓风方式,可按槽液之液面大小而设定其吹气量(ft3/min;CMF)。一般电路板之吹气不宜太强,其空气流速约在1.5-2.5CFM/ft2,且具高纵横比(5/1以上)通孔之板类其吹气量还更应降低为1.0-1.5CFM/ft2。太强烈的涡流(Turbulence)反而会造成深孔两端出口孔环(Annular Ring)上的鱼眼(Fish Eye)或碟陷(Dish Down)。
吹气管最好直接安置在阴极板面正下方的槽底,绝对不可放在阳极下方,以免发生镀层的粗糙。可将之架高约2-3寸,此吹管在朝下之左右两侧两排,每隔一寸各打一个错开的吹口,两排孔左右朝下的夹角约在35-400之间。如此翻搅之下将可减少槽底污物的淤积。至于阴极杆往复移动式的机械搅拌,则以板面450之方向为宜。某些业者甚至还另采用垂直弹跳式的震动,以赶走氢气。
整流器的涟波(Ripple)应控制在5%以下(注意此数据应在实际量产的动态连续供电情形下去量测,而非静态无负载的单纯量测),连续过续也是必须操作设备3-5um之间。正常翻槽量(Turnover)每小时应在2-3次左右。要注意的是其回槽吐水口绝对不可夹杂有细碎气泡,以减少待镀板面的球坑或子弹坑。。滤心的孔隙度约在
(备注:CFM是一种流量单位
cubic feet per minute的缩写:立方英尺每分钟 1CFM=28.3185 L/MIN
1L=0.001(立方米)
1CFM=28.3185 L/MIN =0.0283185立方米/分钟=28318.5毫升/分钟=每分钟消耗的气体量为0.0283185立方米)
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