锁紧螺母采用真空蒸发镀膜制作预定成分的合金薄膜的方法,经常采用的是瞬间蒸发法和双蒸发源蒸镀法。
1、瞬间蒸发法。瞬间蒸发法又称闪蒸发,是把合金做成粒状或粉末状,再一粒一粒地放入高温蒸发源中,使之在一瞬间完全蒸发,这样便可获得与镀膜材料成分相同的薄膜。2、双蒸发源蒸镀法。镀制二元合金薄膜采用两个蒸发源,分别蒸发二元合金的两个组分,并分别控制他们的蒸发速率,这样就能在基片上得到所需成分的合金薄膜。3、化合物的蒸镀。在使用直接蒸镀法时,化合物可能发生如下变化:化合物的组成不发生变化,可以直接沉积得到化合物薄膜;加热时,化合物分解形成含有多种气相成分的蒸汽,沉积时得到的是某些气相成分的薄膜;化合物加热时分解,得不到薄膜;
锁紧螺母反应蒸镀法是在充满活性气体的条件下,蒸发固体材料,使之在基片上进行反应获得化合物薄膜的方法。
(摘自于表面处理手册)
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