紧固件化学气相沉积的基本组成包括初始气源、加热反应室和废气处理排放系统等。
化学气相沉积的初始气源包括3种：气态源物质、液态源物质固态源物质。气态源物质是指在室温下为气态的源物质，例如惰性气体、还原气体以及各种反应气体等，这种源物质具有以下两个优点：1、易于控制气相沉积过程且沉积系统简单，因为它们的流量调节方便，又不必控制其温度。2、易于控制沉积层组成，特别是对控制复合涂层的组成十分有利因为所有源物质均为气体，沉积系统只有一个温区，而且反应物的浓度可以从零到任意大小。
紧固件用液态源物质作为初始气源，有两种情况：一种是该液体的蒸汽压即使在相当高的温度下也很低。二是液态源物质在室温或稍高一点温度下，就有较高的蒸汽压。一般情况下，饱和蒸汽压与温度呈指数关系，故源区温度的控制对保持气相组分的稳定性极为重要。
(摘自于表面处理手册)
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